风淋室：FPC行业IPQC检测规范

检验项目

干膜：A、查核车间有未定期做洁净度的测试，粘尘垫有未更换，人员在进入车间时必须在风淋室内吹淋。

B、核对所用干膜是否与现场SOP文件相一致.

      C、核对压膜参数：包括压力、速度、温度是否与《条件设定表》相一致.

      D、检验干膜附着力是否会从基材上面直接剥落，有无气泡、杂质等不良现象，静止时间是否

符合文件要求.

      E、采用湿压贴膜时，需确认纯净水内有无脏物，水位是否保持在2/3框子之高度，并确认压

膜后材料割边清洁状况.

曝光：A、检查机种版本与菲林版本与工单、图纸是否一致.

B、确认菲林挖空时有未挖到成型区，有无胶带贴反等现象.

C、确认菲林有未进行编号，以便后续追溯.

D、确认菲林四周有未设计黑边.

E、确认作业员在对位时有未按方向孔对位，撕菲林时是否斜角撕.

F、每2H查核一次曝光等级与抽真空值是否与SOP文件之要求并检查干膜车间温湿度是否在要求范围内.

G、检验曝光时是否有曝光过度，曝光偏移，吸真空不良等不良现象.

H、检查曝光机台面之清洁情况并确认Mrlar膜是否依规定定期更换.

蚀刻：A 核对版本，所有参数是否与《条件设定表》相一致。如：压力，温度，速度等.

     B 显影前Mylar是否撕尽，化验的药液浓度是否与《条件设定表》要求相一致.

C 检验是否有显影不净，蚀刻不净，开路，短路，破孔，线宽线距是否符合要求等.

贴合：A 检验面向确认是否有贴反现象.

B 检验在贴合过程中是否有偏位，板面是否有氧化，异物等不良现象.

C 机种编号、覆盖膜开窗是否与图纸相符

D 覆盖膜是否除尘及除尘手势确认

 E 风淋室是否开启，设定吹风时间：10S

F 粘脚垫更换记录及频率

G 撕覆盖膜手势确认

 H 熨斗温度点检状况确认（一周一次）

I 温、湿度管控记录确认

 J 车间人员手指套配戴状况确认

 K 查核贴合车间的保养状况及5S

资料整理：青岛美特斯净化设备有限公司   赵德平