穿上净化服、戴上口罩、经过强风的“风淋室”后，记者走进了上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室。展现在眼前的是一个摆满了高科技仪器设备的洁净世界，许多穿着净化服、戴着口罩的科研人员，在不同的机器之间穿梭忙碌。
这里是我国最先进的高端硅基集成电路晶圆片材料ＳＯＩ研发平台，也是中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士为之奋斗十多年的地方。
这些看上去光润无瑕、如同一面面灰色圆镜的ＳＯＩ材料，专业名称叫“绝缘体上的硅”，是国际公认的２１世纪新一代硅基材料，在低压、低高温电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面都有重要应用。
早在２０世纪８０年代初，中科院就已经开始ＳＯＩ技术研究，但仅仅停留在论文上，从没有走出实验室。眼看国际上ＳＯＩ产业化应用技术突飞猛进，１９９８年，王曦放弃国外优越生活，毅然回国挑起了中科院ＳＯＩ项目的“大梁”。
“现在回想起来，当时选择回国，是我人生中最为重要的一个正确决定。作为一名科研人员，只有回到祖国的怀抱，才能脚踏实地去探索，才能实现自己的志向，才会大有作为。”王曦说。
为了尽快赶上国际先进水平，王曦带领科研团队通宵达旦地在实验室里加班加点，他们采用工程化管理，每个阶段都设定了指标。“离子注入”是王曦钻研多年的ＳＯＩ材料制备中的关键技术。回国后，王曦成功地利用创新技术完成了ＳＯＩ材料技术工程化研究，建立了生产线。
刚开始，生产线上做出来的ＳＯＩ硅片瑕疵斑点很多，如同一片片“麻饼”。经过漫长的艰苦跋涉、昼夜奋战，他带领团队终于生产出一个个光润无瑕、晶莹剔透的“三明治”圆片。
“王老师工作极其认真细致、精益求精，大至行业发展趋势、课题研究方向，小到学生们每一篇论文的标点符号，他都事无巨细亲自把关。因此，他每天的时间总是排得满满的，我们经常在半夜里收到他的电子邮件。”王曦的学术秘书俞文杰说。
创建公司、将ＳＯＩ材料产业化是王曦人生中第二个重要选择。２００１年，在国家有关部委和中科院领导的支持下，王曦带领ＳＯＩ项目组骨干创建了上海新傲科技有限公司，从“科学家”转型为“企业家”。
２００２年，中国第一批商业化生产的ＳＯＩ圆片问世，这让美国硅谷惊呆了。当地《半导体商业新闻》曾惊呼：就像在一夜之间，中国“突然冒出了一个现代化的高端集成电路硅基片企业”。
２００６年，王曦负责的“高端硅基ＳＯＩ材料研发和产业化”项目荣获国家科技进步奖一等奖，在关键技术上取得一系列重大创新，申请国家发明专利３２项，并已获授权１６项。
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