***厂风淋室洁净室环境指标与监测位置确定
6.1.1 IE部确立洁净室环境指标以及监测点位置（如：微尘粒子、温湿度等）并制作LAYOUT，经部门经理批准后发送至工程和品质等部门进行检测，当车间LAYOUT变更时，IE部及时更新LAYOUT并升级版本，经部门经理批准后发送至工程和品质等部门。
6.1.2 除FPC事业部的洁净室无ESD要求外，其它所有洁净室必须符合ESD标准，详情细节可参考《ESD车间运转和维护指引》相关要求。
6.1.3 公司洁净室有10000级、5000级、1000级、100级之分，表示每立方英尺室内空气中分别含有大于或等于0.5μm （10-6m）的微尘粒子不超过10000、5000、1000及100颗即为合格，测量时使用微尘粒子计数计，距地板高 1.2~1.25 M
6.1.4 洁净室温度标准为23±2°C ，湿度标准为60±10%，测量时使用温湿计，距地板高 1.2 M
6.1.5 洁净室室内压力与室外压力差在5Pa~20Pa 为正常
6.1.6 洁净室噪音小于65分贝为正常，测量时使用噪音计，距地板高 1.2~1.25M
6.1.7 洁净车间必须符合相关照度要求，具体标准可参考《ESD车间运转和维护指引》相关规定。
6.2 洁净室运转管理
6.2.1 作业人员进出管理
6.2.1.1 对洁净室内相关作业人员必须进行相关的知识培训，经考试合格后，方可进入洁净室工作，培训内容及频率如下：
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培训内容
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担当
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频次
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洁净室的特点、构造、洁净技术基础知识
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工程部
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一年
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进入洁净室之注意要点
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生产部
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半年
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洁净室之维护、清洁
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工程部
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一年
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6.2.1.2 作业人员进入洁净室数目以维持最小限度为原则（愈少愈好），并依洁净室进出标准流程进出洁净室，如下图所示。出则相反方向进行，只是不须经风淋室之脱尘处理，而从风闸室出来，同时注意以下事项：
风淋室喷嘴口应固定角度，以确保人体各个部位都可以吹到
使用时人员应垂直站立，并转体三圈，以使全身上下都能接受冲洗的效果,并且风淋室风淋的时间15S
风淋室的可容纳人数视风淋室的面积及喷嘴个数决定，人数规定应张贴于各风淋室
6.2.1.3 作业人员进入洁净室必须按要求穿防静电衣、防静电工鞋，并戴好防静电手套和胶手套，胶手套若有污迹可用酒精擦洗干净，如有破损得即时更换，其着装要求及行为规范如下：
着装防静电衣时，头发不得外露（长发需用发夹，发网夹起）
口罩必须盖住鼻孔，避免呼出气体直接进入空气
颈部衣领扣必须扣好，不留空隙，不得露出内部衣物
禁止在洁净室内卷起衣袖、裤腿，戴上手套后，禁止触及不洁净的东西
人员步行及作业要静静地进行，禁止在洁净室内跑动，以控制发尘量。
禁止在车间内戴手套、拉开衣袖和裤角、将衣服和鞋子的拉链拉开
6.2.2 物料、设备进出管理
6.2.2.1 除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原物料及设备之进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室之洁净度。其进出洁净室之流程如下图所示。
设备进出流程：
6.2.2.3 搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助
6.2.2.4 物品及工作台摆放不可堵住回风口，以免影响气流流动。
6.2.2.5 各工序生产中周转使用的容器，必须设置清洁点，或专用清洁区，按公用作业指导进行清洁后的容器方可投入使用。
6.2.3 洁净室内用品管理
6.2.3.1 洁净室工作台采用不锈钢材质制成，并在表面铺防静电胶皮。
6.2.3.2 搬运车材料采用不锈钢，车轮为耐磨性高的橡胶轮，推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。
6.2.3.3 使用影印资料，则须将文件放在透明之塑胶套内或加覆背，同时不可于室内撕破或将纸柔成一团，避免造成环境之污染。
6.2.4 化学用品管理
6.2.4.1 洁净室内化学用品如酒精，丙酮，黑胶等领用，储存应按照MSP-Z-016-005 《化学品管理指引》的相关要求执行。
6.2.4 洁净室清洁与维护管理
6.2.4.1 规划各设备配置空间时，事先宜考虑不易积聚微尘之结构，并以容易清洁为原则。
6.2.4.2 真空泵等容易产生污染物的这类设备，应装排气管线排气。
6.2.4.3 生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘堆积，详情细节可参考MSP-Z-L013-003《LCM车间安全和清洁维护指引》文件规定执行。
6.2.4.4 生产设备需每月定期保养，保养应按各作业指示进行。
6.2.4.5 磨损、切削均为发生微尘的原因，工作时需用将发尘部份盖住。
6.2.4.6 易产生尘埃的设备，若可能的话应布置于风尾地点
6.2.4.7 在作业过程中，尽量减少触摸零件或产品的次数
6.2.4.8 各项厂务设施的供应（如：水、气体和化学品）在进入生产设备前应有过滤设备
6.2.4.9 为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀设置
6.3 洁净室环境指标监测与维护
6.3.1 洁净室内微尘粒子数、照度由品质部每月测量一次，并将测试数据分别填入<微尘粒数测试记录>和<照度测试记录表>中。
6.3.2 洁净室内压差、温湿度由品质部每日测量一次，并将测试数据分别填入<洁净室压差记录表>和<温湿度记录>中。
6.3.3 洁净室内噪音由品质部每半年测试一次，并将测试数据填入<洁净室噪音测试记录表>中。
6.3.4 若洁净室各项环境指标异常，由品质部联络行政部，由其自行或联络施工单位进行改善，若洁净室某一局部微尘粒子超标（如：无尘台、打印机），可联络IE部进行改善。
6.3.5 用于测量温湿度、微尘粒子数、照度、压差及噪音的仪器应由仪器工程师负责每年送计量所校正一次
6.3.6 若以上标准如某一方面与客户标准有冲突，以客户标准为准，如客户无明确要求或认可此标准，按以上标准执行。
资料整理：青岛美特斯净化设备有限公司 赵德平
